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在精煉合金時(shí)，加入固體的二氟化氙、四氟化氙，有助于除去金屬或合金中所含的氣體和非金屬夾雜物。宇航飛行器從外層空間返回地球時(shí)，外殼與大氣摩擦產(chǎn)生高溫，如果不用消融劑，飛行器要熔化。消融劑具有兩方面的作用：吸熱降溫，結(jié)合等離子體火焰中的電子而使其猝滅。稀有氣體的氟化物可作為猝滅消融劑的組分，在高溫下，它們分解出電子親合力極強(qiáng)的XeF+、KrF+，通過它們與等離子體中的電子結(jié)合而起到猝滅劑的作用。

稀有氣體化合物的實(shí)際應(yīng)用，已經(jīng)看到了廣闊的前景。例如，在鈾—235作核燃料的原子反應(yīng)堆中，過去對如何處理具有放射性的氪和氙裂變產(chǎn)物感到困難，現(xiàn)在可以利用氟化的辦法，使它們轉(zhuǎn)為固態(tài)的氟化氪和氟化氙，并利用它們氟化能力的不同，將它們作進(jìn)一步的分離。在鈾礦的開采中，氡是一種有害的強(qiáng)放射性氣體，也可以通過氟化處理而消除。三氧化氙和四氧化氙對震動、加熱都極為敏感，在潮濕的空氣中有很強(qiáng)的爆炸力，人們試圖探討將它們用作火箭推進(jìn)劑的可能性。稀有氣體鹵化物還可以作為大功率激光器的工作物質(zhì)。例如，一氟化氙激光器可發(fā)射出波長為351.1納米和353.1納米的激光束。